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潔凈室工程點基本原則
日期：2025-12-06 04:15
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摘要：
潔凈室工程建筑特點基本原則：
建筑物的外部環(huán)境一大氣污染的性質(zhì)和水平，其中包括季節(jié)性的變化；對微電子工業(yè)具有決定意義的振動狀況。
應(yīng)考慮到鄰近區(qū)域的遠景發(fā)展和潔凈室使用后可能造成的后果。
高換氣次數(shù)和費用巨大的通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)主宰著潔凈室的建造費用、因此，凡是在可能之處，采用空氣循環(huán)，重復(fù)利用能源，局部空氣清潔裝置就起著重要的作用。
工藝設(shè)備的布置應(yīng)做到，只有需要潔凈室內(nèi)工作人員操縱的控制面板進入高潔凈度工作區(qū)，而產(chǎn)品進、出部位也在高潔凈度工作區(qū)。
潔凈室對人為錯誤的易受損害性不理解或不愿意搞好個人衛(wèi)生，不注意行為舉止，在本節(jié)內(nèi)作者并不想對整個送風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)的一般問題和設(shè)計程序作介紹，而是想重點闡明與潔凈室有關(guān)的專業(yè)性問題。
通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)在潔凈工作臺中起著關(guān)鍵作用。可是，在已完成的系統(tǒng)設(shè)計中卻也出現(xiàn)了許多錯誤，通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)不僅影響著平面布置方案，并且還決定著系統(tǒng)的功能是否與設(shè)計的生產(chǎn)相符合。
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